РАМАНОВСКИЕ И МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ПРИЗНАКИ НЕОДНОРОДНОСТИ Ni/Si ДО ТЕРМИЧЕСКОГО СИЛИЦИДООБРАЗОВАНИЯ

Abstract

Термически активированное превращение Ni–Si развивается из состояния границы Ni/Si, сформированного уже на стадии нанесения Ni. Атомистические исследования показывают, что до специальной термической активации граница Ni–Si может содержать перемешанную область [1]. Поэтому состояние до отжига важно как исходная конфигурация для последующего переноса компонентов, зарождения фаз и движения реакционной границы.